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iTomic® HiK系列原子层沉积系统

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

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iTronix®系列化学气相沉积系统

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Trancendor®晶圆真空传输系统

光伏

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羲和®系列高温低压系统

退火

羲和®系列高温低压系统

隧穿氧化/多晶硅沉积

祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al₂O₃/SiNₓ

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al₂O₃

夸父®系列KF20000批量式ALD系统

背膜SiNₓ

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统

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界面层/封装层 AIOₓ

产业化应用中心

iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

朱雀系列粉末原子层沉积系统

后羿®系列板式ALD系统

iSparol系列卷对卷ALD系统

产业化应用中心

朱雀系列粉末原子层沉积系统

朱雀系列粉末原子层沉积系统，采用自主研发设计的反应器结构设计和先进的镀膜沉积技术，为各种粒径大小的微纳粉体表面沉积多种材料，并实现极限保形和均匀的薄膜沉积效果。适用于粉末包覆改性的研发及中试量产，具有灵活和多功能等特点。

销售邮箱

semisale@leadmicro.com

产品特点

系统具备多种配置，可兼容流化、振动等功能，实现粉体材料的充分分散，提高粉末的包覆效率和镀膜包覆性能，降低综合成本

配备集成手套箱，，可用于湿度敏感材料的开发

可升级挂载多种化学源，可开发多种ALD材料，例如 TiO₂、 ZnO 、 SiO₂等

易于更换的料盒粉末过滤器，可减少粉末批次间的污染

用户界面简单明了，触摸屏控制操作方便