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iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
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Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
阻隔封装
电子传输层 SnOₓ
界面层/封装层 AIOₓ
产业化应用中心
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
朱雀系列粉末原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
夸父系列工业批量型原子层沉积系统采用beat365官方最新版原创的反应腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成技术,可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄钝化膜的制备，确保电池光电转换效率的进一步提升。基于成功量产机型的设计原理，夸父系列 ALD薄膜钝化系统是beat365官方最新版原创设计的第五代产品，代表了光伏行业国产创新设备的先进技术，在提供超高产能的同时,最大程度降低设备的运营成本，为客户提供可靠的量产解决方案，引领光伏产业化高效电池智能化制造。
销售邮箱
semisale@leadmicro.com
产品特点
适用于PERC, PERT, TOPCon, XBC, HJT, Perovskite, Tandem-Cell等高效电池技术的应用
1
可制备薄膜包括Al₂O₃, SiO₂, TiO₂, ZnO, SnO₂, HfO₂, ZrO₂等
2
单腔最大装片量可达3360片/批次，兼容M10-M12硅片尺寸，升级切换简单
3
精确实现原子层级薄膜厚度控制（1-10 nm，可调），具备优异的薄膜厚度均匀性
4
独立运行反应腔体，确保最大化设备运行率（>99%）
5
提供定制化复杂纳米叠层工艺以及CVD兼容功能
6
前台热线：
0510-81975900
公司地址：
江苏省无锡市新吴区长江南路27号
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